升華法晶體生長系統

升華法晶體生長系統

升華法晶體生長系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2015年8月10日啟用。

基本介紹

  • 中文名:升華法晶體生長系統
  • 產地:中國
  • 學科領域:材料科學
  • 啟用日期:2015年8月10日
  • 所屬類別:工藝試驗儀器 > 汽車工藝實驗設備 > 紅外線汽車排氣分析儀
技術指標,主要功能,

技術指標

升華法,分子泵,大腔體。

主要功能

升華法生長晶體,如SiC。

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