《化學氣相澱積與無機新材料》是1984年科學出版社出版的圖書，作者是孟廣耀。
基本介紹
- 書名：化學氣相澱積與無機新材料
- 作者：孟廣耀
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：1984年4月
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
化學氣相澱積是一種製備無機材料的新技術．本書詳細敘述了化學氣相澱積的基本原理和操作工藝，討論了澱積過程熱力學、動力學、表面過程機理以及生長層質量與澱積參數的關係等問題．此外，本書還介紹了化學氣相澱積法在新材料、新技術領域中的套用．
本書可供從事無機材料研究的科技工作者和高等院校師生參考．
圖書目錄
前言
第一章 一般化學原理和技術
第二章 氣態物種的輸運
第三章 化學氣相澱積系統的熱力學
第四章 澱積過程動力學
第五章 表面過程機理
第六章 影響澱積層質量的因素
第七章 化學氣相澱積和新材料、新技術
參考文獻
