化學放大膠是一種為了提高光刻膠的量子效率（量子效率（quantum efficiency），描述光刻膠對光子的敏感程度），基於化學放大原理的光刻膠，其主要成分是聚合物樹脂、光致酸產生劑（photo acid generator，PAG）以及相應的添加劑（additives）和溶劑。
基本介紹
- 中文名：化學放大膠
- 外文名：Chemically-amplified Resist
- 英文縮寫：CAR
化學放大膠是一種為了提高光刻膠的量子效率（量子效率（quantum efficiency），描述光刻膠對光子的敏感程度），基於化學放大原理的光刻膠，其主要成分是聚合物樹脂、光致酸產生劑（photo acid generator，PAG）以及相應的添加劑（additives）和溶劑。
所有化學放大膠的基本工作原理可用圖1描述。光子被光致酸產生劑（photo acid generator，PAG）吸收，PAG分解釋放酸（H）；烘烤時，酸與樹脂上的不溶性懸掛基團（protective group）反應，使聚合物能溶於顯影液，並釋放一個新的H離子。
圖1 化學放大膠的一般工作原理(INSOL：不溶性基團； SOL：可溶性基團)
化學放大膠歷史
化學放大膠的概念在1982年就已提出了，但真正蓬勃發展是在20世紀90年代初。到20世紀90年代中期，一系列商業化化學放大膠被開發出來。實驗證明這一類膠不但有很高的靈敏度而且具有很高的對比度和分辨能力，抗刻蝕性能也很好。
