刻蝕後檢測

刻蝕後檢（測）（After Etching Inspection，AEI），即刻蝕後的CD測量。在刻蝕製程光刻膠去除前及光刻膠去除後，分別對產品實施全檢或抽樣檢查。AEI一般用於檢測刻蝕機台的性能指標。

基本介紹

• 中文名：刻蝕後檢測
• 外文名：After Etching Inspection
• 簡稱：AEI

目的

AEI目檢須檢查晶圓正面顏色是否異常及刮傷，有無缺角及Particle以及刻號是否正確。

在生產上，也有兩步刻蝕工藝用到AEI，即顯影后先做初步刻蝕，然後根據AEI結果確定最終刻蝕的工藝時間。因為重去氧化層或重長氧化層可能造成組件特性改變可靠性變差、缺點密度增加。生產成本增高，以及良率降低之缺點。

作用

利用AEI操作可檢測並提高產品良率，獲得品質一致性以及製程的重複性，避免不良品外流，節省成本。