《納米積體電路製造工藝(第2版)》是2017年清華大學出版社出版的書籍,作者是張汝京等。這是國內首本關於納米積體電路製造工藝的著作。半導體產業領軍人物張汝京組織,...
《納米積體電路製造工藝》共分19章,涵蓋先進積體電路工藝的發展史,積體電路製造流程、介電薄膜、金屬化、光刻、刻蝕、表面清潔與濕法刻蝕、摻雜、化學機械平坦化,...
