全自動雷射共聚焦掃描顯微鏡

全自動雷射共聚焦掃描顯微鏡是一種用於電子與通信技術領域的分析儀器，於2011年6月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：全自動雷射共聚焦掃描顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2011年6月1日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 雷射共焦顯微鏡

技術指標

高精度3D形貌測試，100*--17000*變焦。

主要功能

晶片結構分析。