共聚焦掃描顯微鏡

共聚焦掃描顯微鏡是一種用於電子與通信技術領域的分析儀器，於2018年1月3日啟用。

基本介紹

• 中文名：共聚焦掃描顯微鏡
• 產地：德國
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2018年1月3日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 雷射共焦顯微鏡

技術指標

X/Y平面解析度0.14um，Z軸解析度0.1nm，Z軸最大測量範圍不17mm，自動聚焦範圍40mm。

主要功能

晶片工藝。