三維掃描共聚焦顯微鏡

三維掃描共聚焦顯微鏡

三維掃描共聚焦顯微鏡是一種用於機械工程領域的計量儀器,於2019年6月17日啟用。

基本介紹

  • 中文名:三維掃描共聚焦顯微鏡
  • 產地:奧地利
  • 學科領域:機械工程
  • 啟用日期:2019年6月17日
  • 所屬類別:計量儀器 > 長度計量儀器 > 原子力顯微鏡
技術指標,主要功能,

技術指標

位移範圍:100mm×100mm×100mm;樣品表面結構:Ra>9nm,Lc=2μm;最大樣品高度:100~345mm;最大樣品重量:30kg;最佳水平解析度:0.44μm;最佳垂直解析度:10nm;最大掃描高度:22.5mm;最大擴展視野範圍:10000mm2;最大單一方向掃描範圍:100mm;最小測量高度:0.01μm;最大測量高度:22.5mm;最大測量範圍:10000mm2;最大測量形貌長度:100mm;最小可重複性:0.001μm;最小測量粗糙度(Ra):0.03μm;最小測量粗糙度(Sa):0.015μm;最小測量半徑:1μm;最小測量垂直角度:20°。

主要功能

InfiniteFocus是一款高精度、高速度和高靈活性的光學三維測量系統。系統集三維微型三坐標測量工具和表面粗糙度測量設備為一體。通過使用同軸照明和最佳的LED環型燈,表面測量範圍可達幾乎無限大。另外,InfiniteFocus所有的坐標軸配備了高精度的編碼器保證了平台高精度的移動。用戶可實現高解析度、高重複性和高精度的可追溯源的測量。

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