光譜型橢偏儀

光譜型橢偏儀是一種用於物理學、材料科學領域的分析儀器，於2013年06月17日啟用。

基本介紹

• 中文名：光譜型橢偏儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2013年06月17日
• 所屬類別：分析儀器 > 光譜儀器

技術指標

（1） 測量範圍Ψ：0-90º；∆：0-360º； （2） 自動可變入射角（入射光與樣品法線夾角）：20-90º。

主要功能

測量各種凝聚態薄膜材料的厚度以及表面粗糙度，對薄膜材料的微觀結構進行非破壞性表征等。可以進行相應的擴展，實現對薄膜生長的實時控制測量等。