光刻膠旋塗單元包括一個可以旋轉的樣品台（spin table）和幾個噴嘴（nozzle），負責對晶圓表面做光刻膠塗覆，實現指定的厚度和均勻性。 基本介紹 中文名：光刻膠旋塗單元外文名：resist coating unit 光刻膠旋塗單元包括膠噴嘴和輸送管道。膠噴嘴和輸送管道外是一個水套管，用來保持膠恆溫。塗膠單元不僅僅局限於光刻膠的旋塗，也可以用於旋塗抗反射塗層和193nm浸沒式光刻的防水頂蓋塗層（topcoat）。轉台用來放置晶圓，幾個噴嘴用來供應光刻膠和各種有機溶劑，每一個噴嘴對應一種材料，並有專用的管路和膠泵。有機溶劑用來沖洗晶圓表面使之濕潤，以後隨後的光刻膠塗布，系統必須對轉台的轉速控制得極為準確。
