光刻分子膠

光刻分子膠本質上是一種的聚合物化學放大膠，例如基於羥基苯乙烯聚合物的膠。

基本介紹

• 中文名：光刻分子膠
• 外文名：Molecular Resist

光刻膠中使用的分子膠是典型的聚合物化學放大膠，分子量介於2500至30000之間，所對應的迴轉半徑約為1~3nm，分子鏈的有效長度是3~9nm。與分子量具有較大分布的聚合物膠不同，分子膠是使用小分子量的材料作為膠的主體，理論上分子膠可以實現更高的解析度和更小的邊緣粗糙度。

分子膠可以是由PAG混合在分子玻璃（molecular glass matrix）中得到的，也可以把PAG合成在分子玻璃中。分子膠的研發基本局限於在極紫外（EUV）光刻技術和電子束中使用。