上海微電子裝備工程技術研究中心（以下簡稱“中心”）是由上海市編委於2004年7月批准成立的從事微電子裝備的系統開發、系統集成及關鍵技術單元研究的專業研發機構，是上海市科委的直屬事業單位。
基本介紹
- 中文名：上海微電子裝備工程技術研究中心
- 機構類別：研究中心
- 地點：上海
- 成立時間：2004年7月
中心簡介
上海微電子裝備工程技術研究中心（以下簡稱“中心”）是由上海市編委於2004年7月批准成立的從事微電子裝備的系統開發、系統集成及關鍵技術單元研究的專業研發機構，是上海市科委的直屬事業單位。“中心”以大力培養和吸納高端微電子裝備技術人才為宗旨，聚集微電子裝備的研發人才，研發有自主智慧財產權的與國際同步水平的微電子裝備，並向社會提供關鍵技術單元的技術服務。
技術研發
目前“中心”已擁有了一批可進行各種工程試驗的技術平台，如：精密光學工程、精密機械、精密控制、高精度溫度環境控制等試驗室和試驗、中試、總裝集成平台。
成果轉換
2007年9月，“中心”承擔了上海市科委科研計畫項目——超精密主動減振控制與智慧型診斷技術研究，並於2010年8月通過專家驗收。在項目研究過程中， 培養了一批主動減振控制專業人才；申請專利6項（其中發明專利5項）；發表論文3篇。隨著國內半導體設備及科學研究的發展，該技術在精密儀器、精密運動系統以及科學研究都有較為廣泛的套用前景。
