X射線鍍層結構分析儀

X射線鍍層結構分析儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2019年12月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：X射線鍍層結構分析儀
• 產地：德國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2019年12月30日
• 所屬類別：分析儀器 > X射線儀器

技術指標

1、工作檯：全自動可程式XY工己廈殃作台，移動範圍250×220mm，移動速度60mm/s，移動精度單向2um；2、地犁可測量樣品尺寸大於370×320×130mm；3、採用鞏兆催多毛細管X射線光學系統。能在極其微小的測量面積上產生非常高的激發強度。根據各元素能量不同，實際光斑面積為直徑約20~60 µm；4、視頻顯微鏡：高分夜舟幾樂辨 CCD彩色攝像頭，放大倍數最高達到1080X，可用來觀察測量蘭辨蒸喇位置 ，十字線帶有刻度尺和測量點指示。

主要功能

1、高解析度元素含量定量分析；2、微納區域測剃盼霉量分析功能：測量微區材料成分和金屬區域的微納結構挨鞏祝；3、對積體電路金屬膜層微區互連結構關鍵尺寸進行校準。