基本介紹
- 中文名：OLED蒸鍍設備
- 定義：指對OLED材料進行蒸鍍成膜並做成發光器件的裝備
生產工藝,技術要求,發展歷史,
生產工藝
OLED在生產工藝環節需要前、中、後三道工藝，對應的三大核心工藝技術分別為LTPS驅動電路、OLED蒸鍍工藝和薄膜封裝工藝，OLED蒸鍍是制約OLED面板良率，進而影響產能的關鍵。
技術要求
OLED技術看起來很神秘，實際上可以分解成很多普通的技術，例如蒸鍍設備要求真空度高、對位精度高、蒸發均勻等，但是對相關技術進行分解後，每一項技術都是很普通的，但每一項技術及其整合，都需要面板廠家用“工匠精神”去潛心研究。
發展歷史
OLED蒸鍍機是生產OLED面板的核心設備之一，無論時下火熱的華為P40、OPPO find X2、一加8，還是三星GALAXY Quantum，都與它有著脫不開的聯繫。智研諮詢發布《2020-2026年中國OLED面板行業市場專項調研及投資前景分析報告》顯示，2020年OLED市場規模達到343億美元，單位出貨量增速將在2020年到達頂峰。在OLED技術借道手機市場全面爆發的背後，生產OLED面板的關鍵設備——OLED蒸鍍機長期被日韓企業壟斷。如何克服上游核心設備的缺失，是困擾中國顯示產業發展的痛點。
賽迪智庫2019年10月整理公開數據顯示，截止2018年，OLED蒸鍍設備的主要生產商為日本佳能Tokki，市場占有率達到90%。據悉，佳能Tokki每年產能的90%均被三星包攬，OLED蒸鍍設備一機難求已成為了限制國內面板廠商擴大OLED產能的重要原因。
以往，三星和LG Display的產線增建導致OLED蒸鍍設備幾乎被買斷。近幾年，隨著韓國企業OLED產線的投資滯緩，京東方、維信諾、深天馬、信利等面板廠商才陸續採購到OLED蒸鍍機，逐步提升良品率。截至2018年底，京東方成都6代線綜合良品率達到70%；2019年11月，維信諾崑山5.5代線綜合良率達90%。預計到2021年，國內面板廠商生產剛性和柔性OLED面板才能與三星良品率基本持平。可見，OLED蒸鍍機是制約行業發展的瓶頸。欣奕華自主研發的國產OLED蒸鍍機正是在這樣的背景下應運而生。我國雖然已成為全球OLED面板生產的主產地之一，但是上游設備企業在裝備領域依然集中在中低端和非關鍵設備的生產製造階段。
事實上，核心技術的攻克並不簡單。如果說OLED蒸鍍機是OLED面板製作工藝的心臟，那么OLED蒸發源相當於心臟的心房。OLED蒸發源根據巨觀形狀的不同可以粗略地分為點型蒸發源和線型蒸發源。為了滿足厚度均一性，點型蒸發源材料利用率不高，部分材料蒸鍍時容易出現clogging或噴濺；線型蒸發源由於在坩堝加熱及傳遞過程中不同位置的熱量和溫度存在差異，使得蒸發源不同位置的有機氣體分子的熱動能不一致，從而使不同位置的噴嘴噴出有機分子的蒸鍍速率不同，導致鍍膜的厚度均勻性差；更不要提在對玻璃基板各子像素進行鍍膜時，為了鍍膜位置的精確性，在每道工序開始前都要先對基板進行精密對位，該問題也是導致整個OLED面板良率不足的關鍵。
經過無數個日日夜夜的研究、探索、實踐，欣奕華研發團隊最終形成了完善的OLED技術研發體系，突破OLED蒸發源、OLED對位系統等多項關鍵核心技術。其自主研發的OLED點型和線型蒸發源，已經交由客戶驗證通過，成功導入面板龍頭企業的量產線。
據了解，佳能Tokki OLED蒸鍍機被人提及最多的就是精度，把OLED有機發光材料精準地蒸鍍到基板上，佳能Tokki 可以把誤差控制在3um之內。而欣奕華OLED蒸鍍機對位系統(包含G6H、G2.5、G1)的對位精度可控制在1.5um以內。
