北京大學氧化物TFT器件與集成技術工程實驗室圍繞氧化物半導體薄膜電晶體器件研發和集成領域的發展需要,開展相關產業關鍵技術攻關、重要技術標準研究制訂,凝聚、培養產業技術創新人才。
基本介紹
- 中文名:北京大學氧化物TFT器件與集成技術工程實驗室
- 主管部門:北京大學
研究方向,科研條件,
研究方向
(1)氧化物TFT器件與集成工藝、
(2)氧化物TFT-OLED加工工藝
(3)新型氧化物TFT材料與工藝;
(4)氧化物TFT積體電路設計;
科研條件
北京大學氧化物TFT器件與集成技術工程實驗室 現有場地800平方米,購置了磁控濺射台、OLED蒸鍍設備、TFT特性測試儀等大型軟硬體設備,開展氧化物TFT器件、氧化物TFT-OLED、新型氧 化物TFT材料以及器件封裝和測試等核心技術,開展氧化物TFT面板製造和驅動電路設計等關鍵技術攻關。