MEMS微流體測控系統

《MEMS微流體測控系統》是依託哈爾濱工業大學，由劉曉為擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

• 中文名：MEMS微流體測控系統
• 依託單位：哈爾濱工業大學
• 項目類別：面上項目
• 項目負責人：劉曉為
• 批准號：60276038
• 申請代碼：F0404
• 負責人職稱：教授
• 研究期限：2003-01-01 至 2005-12-31
• 支持經費：23（萬元）

項目摘要

通過計算機模擬仿真、最佳化設計及微機械加工技術研製一種基於MEMS的集成微流體測量控制系統，實現多種感測器和微泵、微通道等我種微執行元器件的單片集成化，系統具有微流體溫度、流量等的測量及對於微流體的控制能力，可用於微飛行器燃料和推進控制，納、皮衛星環境熱控，以及IC晶片系統冷卻、微化學分析等領域中，國陡上屬創新性研究工作。