《基於聚合物MEMS微針與微流體技術的集成微系統研究》是依託上海交通大學，由朱軍擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：基於聚合物MEMS微針與微流體技術的集成微系統研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：朱軍
- 依託單位：上海交通大學
- 批准號：50775149
- 申請代碼：E0512
- 負責人職稱：副教授
- 研究期限：2008-01-01 至 2010-12-31
- 支持經費：28（萬元）
項目摘要
微流體與微針技術的集成將為生物信號的分析、藥物注射、微量樣本分析、疾病檢測等眾多領域提供新的技術手段，具有廣闊的套用前景。該系統構造上存在的主要問題在於：1、現有的微針製備方法存在工序複雜、製造難度大、微針傾斜角度不足或傾斜角不可變化的問題。2、迫切需要探索套用安全的、生物兼容性好，製備成本低的聚合物材料微針。為了解決上述問題，本項目提出了背面夾縫曝光新思路，開發微針製備新技術，並通過與微流體晶片的鍵合集成構建聚合物微流體系統。本項目將按照上述思想開展系統性基礎研究，研究內容包括：背面夾縫曝光技術機理研究，集成微流體系統的力學與流體理論研究，微針結構設計，微加工工藝與系統集成製造技術研究，器件性能測試等，探索新加工方法的可行性，研製原型系統，評價系統性能。一旦獲得成功，不但意味著一種新型三維微加工技術以及集成微系統的誕生，而且有利於我國MEMS行業技術進步，加快產業化的進程。
