MEMS壓力感測器是一種薄膜元件，受到壓力時變形。可以利用應變儀（壓阻型感測）來測量這種形變，也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行，輪胎壓力監測系統使用比較結實的壓阻方法。
基本介紹
- 中文名：MEMS壓力感測器
- 行業：汽車行業
- 作用：飛機使用感測器監測引擎
- 定義：一種薄膜元件
- 領域：工業領域
基本介紹,套用,
基本介紹
MEMS壓力感測器是一種薄膜元件，受到壓力時變形。可以利用應變儀（壓阻型感測）來測量這種形變，也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行，輪胎壓力監測系統使用比較結實的壓阻方法。
套用
1.套用於汽車行業
MEMS壓力感測器在汽車中的一個新套用是傳動系統壓力感測，通常用於自動裝置之中，但也用於新型雙離合器傳動系統。德國廠商推出了一款MEMS解決方案，使用油來保護矽薄膜，使其可以最高耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力感測器帶來巨大變化，當時使用的是多孔矽，帶來了高度可靠的MEMS器件，這些器件已用於目前的側面氣囊等套用之中。
2.套用於醫療市場
壓力感測器主要充當外科手術使用的一次性低成本導管。但它們也用於昂貴的設備之中，在連續氣道正壓通氣（CPAC）機中感測壓力與差流。
3.套用於工業領域
MEMS壓力感測器的主要套用包括採暖通風及空調（HVAC）、水平面測量、各種工業過程與控制套用。例如，除了精確的高度氣壓測量，飛機使用感測器監測引擎、襟翼等其它部件。
