EBCCD

EBCCD的組成

信號輸入為電子光學系統，主要用於實現光電轉換並聚焦加速成具有一定能量的電子束。電子光學系統部分採用金屬-陶瓷封裝結構，背照減薄CCD系統採用金屬-玻璃封裝結構。

背照CCD讀出系統主要用於完成電子信號的採集與轉換輸出，可獲得與ICCD相近的靈敏度。減薄CCD僅保留含有電路器件結構的薄矽層，使成像光子從CCD背面無需通過多晶矽門電極而進入CCD，進行光電轉換和電荷積累，量子效率可達90%。CCD置於真空管中，直接探測來自光陰極的光電子。

在額定工作電壓下，EBCCD每個光子時間在CCD面上呈4~6um的寬度指數分布，光陰極的光電子直接轟擊CCD，產生二次電子，當入射能量為3.6eV的光電子打到CCD器件上時，約產生一個電子-空穴對。光生載流子僅發生在器件光照吸收面的一定的深度內，其總數以指數分布的形式向體外擴散。

EBCCD的優點是高增益、低噪聲和高解析度，可以在很低的照度狀態下工作，甚至可以記錄單個光子。缺點是：

1.工藝複雜，要將CCD封裝在管內之後製作光陰極，且封裝到管中的CCD應與光陰極製造工藝兼容；

2.排氣溫度不能太高，限制了光陰極的靈敏度；

3.壽命有限及過渡曝光易損；

4.可用CCD的規格受限、結構複雜、價格昂貴。