3D雷射顯微鏡

3D雷射顯微鏡是一種用於物理學、電子與通信技術、材料科學領域的分析儀器，於2017年05月08日啟用。

基本介紹

• 中文名：3D雷射顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：物理學、電子與通信技術、材料科學
• 啟用日期：2017年05月08日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 雷射共焦顯微鏡

技術指標

觀察方式：明場、微分干涉；405nm 半導體雷射源；橫向解析度：0.12μm；高度檢測重複精度：σ=0.012μm；雷射檢測速度：4～16Hz；物鏡：5×、10×、20×、50×、100×；最大觀察倍率：17280×；具有拼圖功能。

主要功能

3D形貌觀測，螢光發光觀測、粗糙度檢測、厚度檢測等。