21項誤差

21項誤差最早來源於三坐標測量機，現在也運用於數控加工中心。通常將三坐標測量機或三軸加工中心的幾何參數誤差按其在各運動自由度方向作用分類，分為三項位置度、六項直線度、九項角擺誤差、以及三軸相互之間的三項垂直度，共二十一項參數誤差。 二十一項誤差是三坐標測量機的基本幾何誤差，為了保證三坐標測量機滿足示值誤差及探測誤差的要求，三坐標測量機生產廠家都要測量和控制這二十一項誤差，必要時進行補償。 二十一項誤差的測量可以使用不同的測量儀器進行檢測以便於修正，包括雙頻雷射干涉儀、電子水平儀、直角尺、高精度電感測微儀，但是，需要注意的是，使用上述儀器測量參數誤差時，測量結果可能是幾種參數誤差的綜合結果。

對於三坐標測量機和三軸加工中心，21項誤差具體為：
X、Y、Z三個方向的位置度；
沿X、Y、Z三個方向運動時的六個直線（3X2）；
沿X、Y、Z三個方向運動時自轉、俯仰、方向九個角擺；
X、Y、Z各軸間三個垂直度；
對水平臂三坐標測量機則為24項誤差，即加上水平臂伸出時的下垂量誤差。