高頻薄膜電感中高磁導率材料的磁各向異性

《高頻薄膜電感中高磁導率材料的磁各向異性》是依託蘭州大學，由薛德勝擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

• 中文名：高頻薄膜電感中高磁導率材料的磁各向異性
• 依託單位：蘭州大學
• 項目負責人：薛德勝
• 項目類別：面上項目
• 批准號：10774062
• 申請代碼：A2007
• 研究期限：2008-01-01 至 2010-12-31
• 負責人職稱：教授
• 支持經費：30（萬元）

項目摘要

本項目以研究高頻薄膜電感材料中的高頻磁導率機制為目的，以控制高截止頻率和高磁導率的磁各向異性為關鍵展開研究。擬用射頻濺射技術製備高飽和磁化強度的軟磁金屬、鐵氧體薄膜及其複合膜。結合結構和形貌觀測，掌握不同厚度和晶粒尺寸的軟磁薄膜製備工藝。通過巨觀和微觀磁性測量，掌握薄膜的內稟和技術磁性，尤其是磁化強度分布的特點和磁各向異性特徵。利用轉動磁場法獲得樣品的磁化強度隨空間角度的變化，利用矢量網路分析儀獲得薄膜材料的截止頻率和高頻磁導率。結合以上數據，獲得薄膜樣品的精確有效磁各向異性，系統分析薄膜樣品高截止頻率和高頻磁導率的機制。該研究不僅可以獲得高頻下的高磁導率軟磁薄膜，而且將為高頻薄膜電感的製備提供理論和技術依據。