高純矽烷

高純矽烷在常溫常壓下為惡臭的無色氣體，在空氣或肉素氣體中發生爆炸性燃燒。

特性

與金屬鹵化物激烈反應，也與L`C'1,反應，對矽烷不能用氟里昂滅火劑。熔點一1舒。℃幾沸點一111.5℃二一般採用低溫吸附連續掖化精餾提純I藝，了「廣仁產中對氣體成分進行連續監控，製得產品.用於半導體牛產巾的生長高純單晶矽、多品矽外延片以及二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃、非品矽等化學氣相澱積工藝。並廣泛用十非品矽人陽能電池、矽複印機鼓、光電感測器、光導纖維、特種玻璃等的生產研製。