| 中文名稱 | 矽烷法多晶矽 |
| 英文名稱 | polycrystalline silicon by silane process |
| 定 義 | 將高純矽烷熱分解製得的多晶矽。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科） |
| 中文名稱 | 矽烷法多晶矽 |
| 英文名稱 | polycrystalline silicon by silane process |
| 定 義 | 將高純矽烷熱分解製得的多晶矽。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科） |
中文名稱 矽烷法多晶矽 英文名稱 polycrystalline silicon by silane process 定義 將高純矽烷熱分解製得的多晶矽。 套用學科 材料科學技術(一級學科),半導體材料(...
矽烷法:就是最終用矽烷熱解制多晶矽的方法。矽烷有多種製法,主流的生產工藝有:矽鎂合金法工藝(Komatsu 矽化鎂法);氯矽烷歧化工藝(Union Carbide 歧化法);金屬...
矽在西門子法多晶矽生產流程內部的循環利用。多晶矽矽烷法 矽烷法是將矽烷通入以多晶矽晶種作為流化顆粒的流化床中,是矽烷裂解並在晶種上沉積,從而得到顆粒狀多晶矽。
3.3其他氯矽烷法製備多晶矽 3.3.1SiH2Cl2製備多晶矽 3.3.2SiCl4製備多晶矽 3.4矽烷法製備多晶矽工藝 3.4.1Asimi工藝 3.4.2MEMC工藝 3.5多晶矽材料...
就建設1000t電子級多晶矽廠的技術進行了探討。對三氯氫矽法、四氯化矽法、二氯二氫矽法和矽烷法生產的多晶矽質量、安全性、運輸和存貯的可行性、有用沉積比、...
在美國華盛頓州成立了多晶矽技術研發中心,一批來自世界一流的多晶矽和太陽能高技術企業和研究機構的頂級專家已經到位。開展了改良西門子法的技術創新、矽烷法的產業化...
指標、用途、產品檢測方法、過程安全等方面也存在差異,各有技術特點和技術秘密,總的來說,目前國際上多晶矽生產主要的傳統工藝有:改良西門子法、矽烷法和流化床法。
(三)我國矽烷流化床法發展情況 93三、物理冶金法 94(一)物理冶金法簡介 94(二)冶金法技術發展情況 97四、其他多晶矽生產工藝 99
經營範圍為:區熔多晶矽、一般電路及多晶矽、太陽能級多晶矽、矽烷氣、高純二氯二氫矽、高純四氯化矽及多晶矽的深加工等材料製備。公司在位於雲霧山路、白楊路的規劃...
第2章 太陽能用多晶矽 2.1 西門子法 2.2 矽烷法 2.3 流化床法 2.4 冶金法 參考文獻 第3章 太陽電池用矽晶體 3.1 直拉單晶矽 ...