高純三乙基矽烷是一種可燃性液體。熔點一156.9:，D.731g/cm3。純度)99一999 ",} 。 特性用精密精餾和分子精餾技術提純沸點107一108 L:。密度分解溫度600一8(5090。采。主要用來替代有毒且自燃的矽烷制}i一丫族半睜體化合物，龍其是作為( }a:'ls的Il塑摻雜源
