高溫交聯光刻膠的固化技術

高溫交聯光刻膠的固化技術是指顯影后烘焙固化第一層光刻膠圖形，是另一種保護光刻膠圖形的方法。

基本介紹

• 中文名：高溫交聯光刻膠的固化技術
• 類型：保護光刻膠圖形的方法

原理

在第一層光刻膠中加入溫度活化交聯劑，其活化溫度必須高於光刻膠軟烘（PAB）和曝光後烘烤的溫度。第一次顯影后，光刻膠圖形在更高溫度進行烘焙並發生交聯反應。

技術特點

交聯後的光刻膠圖形不受第二次光刻工藝的影響。

套用

該工藝成功實現的關鍵是開發可用的新光刻膠，使其在顯影后的高溫烘焙（PDB）中可以被固化。