高性能雙束聚焦離子束顯微鏡

高性能雙束聚焦離子束顯微鏡是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2016年1月8日啟用。

基本介紹

• 中文名：高性能雙束聚焦離子束顯微鏡
• 產地：捷克
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2016年1月8日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器

技術指標

Extreme high resolution (XHR) with sub-nanometer resolution from 500 V to 30 kV。

主要功能

TEM樣品製備及積體電路截面分析。