非矽MEMS技術及其套用

《非矽MEMS技術及其套用》，是由陳文元等人完成的科研項目。

基本介紹

• 中文名：非矽MEMS技術及其套用
• 完成人：陳文元等
• 獲獎編號：F-219-2-01
• 獲獎情況：國家技術發明獎二等獎

參與人員

主要完成人：

陳文元(上海交通大學)，

趙小林(上海交通大學)，

丁桂甫(上海交通大學)，

陳迪(上海交通大學)，

張衛平(上海交通大學)，

孫方宏(上海交通大學)

獲獎記錄

2008年度國家技術發明獎二等獎。