非球面測量系統是一種用於信息科學與系統科學、物理學領域的物理性能測試儀器,於2006年05月04日啟用。
基本介紹
- 中文名:非球面測量系統
- 產地:英國
- 學科領域:信息科學與系統科學、物理學
- 啟用日期:2006年05月04日
- 所屬類別:物理性能測試儀器 > 光電測量儀器
非球面測量系統是一種用於信息科學與系統科學、物理學領域的物理性能測試儀器,於2006年05月04日啟用。
非球面測量系統是一種用於信息科學與系統科學、物理學領域的物理性能測試儀器,於2006年05月04日啟用。技術指標測量口徑120mm以下,精度0.05um.。1主要功能測量球面、非球面的面形精度、粗糙度。1...
全自動三維非球面測量系統是一種用於機械工程領域的計量儀器,於2014年10月8日啟用。技術指標 形狀測量重複性<100納米, 測量直徑超過200毫米, 全自動調新調平, 非球面分析軟體。主要功能 1.形狀誤差測量,包括非球面形狀誤差測量、直線形狀誤差(直線度)和圓弧; 2.輪廓測量,包括半徑和角度分析; 3.表面粗糙度...
非接觸式三維非球面光學面形測量系統 非接觸式三維非球面光學面形測量系統是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的科學儀器,於2018年6月15日啟用。技術指標 1、球面面形(PV)精度≤50nm; 2、半徑測量精度△R/R≤0.01%。主要功能 光學參數測試。
非球面測量系統裝置 非球面測量系統裝置是一種用於工程與技術科學基礎學科領域的科學儀器,於2009年3月25日啟用。技術指標 最大輸出壓力:1.0MPA。主要功能 迴轉體,反射鏡及透鏡類零件的鏡面加工。
《基於結構照明的大尺寸非球面鏡檢測方法研究》是依託四川大學,由陳文靜擔任項目負責人的重點項目。項目摘要 在強雷射武器發射系統、空間光學、天文光學、雷射核聚變等諸多領域中, 廣泛地使用大口徑非球面鏡, 它具有成像質量高、體積小、重量輕的特點, 起著球面鏡無法替代的作用。長期以來大口徑非球面的製造與檢測...
本項目提出基於小孔點衍射干涉測量結合環形子孔徑拼接技術實現非球面面形超高精度檢測的新方法,以光刻機投影物鏡中所用非球面為主要檢測對象,以實現超高精度檢測為目標,主要研究基於小孔點衍射干涉測量的超高精度面形檢測理論及關鍵技術;基於點衍射干涉測量系統的環形子孔徑拼接檢測大口徑非球面理論及技術。.該方法通過...
《基於雙迴轉相位板的複雜面形拼接測量理論與方法》是依託中國人民解放軍國防科技大學,由陳善勇擔任項目負責人的面上項目。中文摘要 大口徑凸非球面、柱面甚至自由曲面等複雜面形在大型望遠鏡、光刻物鏡、慣性約束聚變等光學系統中的套用越來越多,是直接影響系統性能的重要元件,其高、中、低頻面形誤差要求都很苛刻。...
離軸非球面具有迴轉對稱光學零件無法比擬的優秀性能,是構建現代光學系統的關鍵零件。高精度離軸非球面的製造及檢測是限制其套用的瓶頸難題,本項目結合磁流變可控柔體製造技術和計算機全息圖測量方法,深入研究離軸非球面製造及檢測中的關鍵難題。通過突破可控柔體變曲率去除函式建模技術,非線性主動控制面形誤差收斂理論,...
第3章相移干涉測量法 3.1干涉儀方程 3.2三幀法 3.3四幀法 3.4最小二乘算法 3.5Carre算法 3.6Hariharan法 3.7相移步進算法設計 3.8相移步進技術及套用 3.8.1機械步進 3.8.2光柵方法 3.8.3基於Pancharatnam相位的方法 3.8.4空間方法 參考文獻 第4章數字全息成像的系統方法及其在干涉...
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第1章光及光的干涉,闡述了光的特性及光干涉的基本概念;第2章常見干涉儀,介紹了一些基礎及常用的干涉儀;第3章共路干涉儀,簡要介紹了散射板、剪下干涉及點衍射等共路型的干涉儀;第4章非球面檢測技術,系統地介紹了非球面的基本概念、非球面的零位與非零位檢測及各種新穎的波前重構算法;第5章精密長度及振動...
朗奇檢驗法是評價和測量光學系統象差的最簡單,最有效的手段之一。義大利物理學家威斯科 朗奇(Vasco Ronchi 1923)發現當把一個刻線光柵放置在接近一面反射鏡的曲率中心時,光柵的像又回落在光柵上,產生一種莫爾條紋,朗奇稱其為組合條紋。由於這些組合條紋的形狀取決於被檢反射鏡的象差,所以朗奇聯想到利用這種...
5.2.3 待測球面鏡調整 5.3 球面鏡面形誤差檢測及系統誤差去除 5.4 球面鏡檢測範圍 5.5 子孔徑拼接技術 5.5.1 子孔徑的劃分 5.5.2 拼接算法 5.5.3 子孔徑拼接誤差 5.5.4 子孔徑拼接技術實例 習題 參考文獻 第6章 干涉非球面檢測技術與系統 6.1 非球面基礎 6.1.1 非球面的數學...