《高精度離軸非球面鏡可控柔體製造關鍵技術研究》是依託中國人民解放軍國防科技大學，由宋辭擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：高精度離軸非球面鏡可控柔體製造關鍵技術研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：宋辭
- 依託單位：中國人民解放軍國防科技大學
中文摘要,結題摘要,
中文摘要
離軸非球面在對地觀測、對天觀測及光刻系統等領域具有廣泛套用，其加工精度是制約系統整體性能的關鍵因素。離軸非球面具有離軸、變曲率、高陡度、大矢高以及多幾何量參數耦契約束等複雜製造特徵，高精度離軸非球面的製造瓶頸在於缺乏可有效適應非球面曲率變化的確定性加工方法和高精度可信評價的測量手段。傳統計算機控制光學表面成形技術（機械式CCOS）中工具同工件的不匹配性導致加工精度可達性有限，補償器零位測量的多鏡頭製造組裝誤差使得面形可信測量精度只能達到10nm左右。因此，實現離軸非球面高精度製造的有效手段是採用可控柔體製造方法和計算機全息圖（CGH）測量手段。項目主要研究適應離軸非球面製造特點的可控柔體高精度修形理論和最佳化工藝，CGH高精度測量中的幾何量參數解耦控制、非線性誤差重構及可信評價，以及跨頻段高效可控收斂的聯合工藝路線等關鍵科學問題，形成離軸非球面的高精度製造能力，並為相關領域發展提供技術支撐。
結題摘要
離軸非球面具有迴轉對稱光學零件無法比擬的優秀性能，是構建現代光學系統的關鍵零件。高精度離軸非球面的製造及檢測是限制其套用的瓶頸難題，本項目結合磁流變可控柔體製造技術和計算機全息圖測量方法，深入研究離軸非球面製造及檢測中的關鍵難題。通過突破可控柔體變曲率去除函式建模技術，非線性主動控制面形誤差收斂理論，高精度高確定性修形工藝，多參數約束條件下的高精度測量及評價方法，跨頻段高效可控收斂的聯合工藝匹配及最佳化，形成離軸非球面的高精度製造能力，實現離軸非球面的高效加工，並在典型工件上得到RMS λ/90的加工結果，為離軸光學系統的發展提供了有效技術支撐。
