非平衡磁控濺射鍍膜系統是一種用於材料科學、機械工程領域的工藝試驗儀器,於2014年04月22日啟用。
基本介紹
- 中文名:非平衡磁控濺射鍍膜系統
- 產地:英國
- 學科領域:材料科學、機械工程
- 啟用日期:2014年04月22日
- 所屬類別:工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備
非平衡磁控濺射鍍膜系統是一種用於材料科學、機械工程領域的工藝試驗儀器,於2014年04月22日啟用。
這樣一方面濺射出來的粒子沉積在基片表面形成薄膜,另一方面電漿轟擊基片,起到離子輔助的作用,極大的改善了膜層質量。非平衡磁控濺射除了具有較高的濺射速率外,能夠向鍍膜區輸出更多的離子,離子濃度正比於濺射靶的放電電流。該技術被...
系統地闡述了真空鍍膜技術的基本慨念和基礎理論、各種薄膜製備技術、設備及工藝、真空卷繞鍍膜技術、ITO導電玻璃真空鍍膜工藝,尤其重點介紹了一些近年來新出現的鍍膜方法與技術,如反應磁控濺射鍍膜技術、中頻磁控濺射鍍膜和非平衡磁控濺射鍍膜...
高真空磁控濺射鍍膜系統 高真空磁控濺射鍍膜系統是一種用於材料科學領域的科學儀器,於2015年12月14日啟用。技術指標 子系統一:工裝和卡具。主要功能 鍍制各種功能性薄膜光電薄膜,半導體薄膜,硬質膜等。
1 真空蒸發鍍膜 1.1 概述 1.2 真空蒸發鍍膜基礎理論 1.3 蒸發源 2 真空濺射鍍膜 2.1 濺射鍍膜原理 2.2 濺射與沉積成膜 2.3 濺射鍍膜方法 2.4 直流二極濺射 2.5 磁控濺射 2.6 射頻(RF)濺射 2.7 非平衡磁控濺射 2...
4.2.9中頻濺射與脈衝濺射鍍膜184 4.2.10對向靶電漿濺射鍍膜189 4.2.11偏壓濺射鍍膜190 4.2.12非平衡磁控濺射191 4.3真空濺射鍍膜設備192 4.3.1濺射靶192 4.3.2間歇式真空濺射鍍膜機195 4.3.3半連續磁控濺射鍍膜機196...
高真空平面靶磁控濺射鍍膜系統是一種用於化學、材料科學領域的工藝試驗儀器,於2015年1月30日啟用。技術指標 (1) 樣品台採用PLC電路控制,樣品台可以水平移動的同時還可以自轉,水平運動速度為10-50 mm/分往復運動,連續可調;自轉的...
四、實驗系列磁控濺射鍍膜機 技術指標:真空室:φ450×400 極限壓力:5×10-5Pa 工作壓力:1~1.0× 10-2Pa 真空系統主泵:渦輪分子泵 陰極靶數量:2~5個 工作氣體控制:質量流量控制器,自動壓強控制儀 工作氣路:2路或4路...
全方位離子注入/沉積系統、汽車零部件專用鍍膜機、車燈保護膜鍍膜機、磁控濺射鍍膜機、多弧離子鍍膜機、非平衡磁控濺射鍍膜機、工模具離子鍍膜機、柔性基材卷繞鍍膜機、多功能複合鍍膜系統、直流射頻等離子炬及廢物焚燒系統、射頻電漿球化...