電阻加熱蒸鍍

電阻加熱蒸鍍,採用片狀或絲狀的鎢、鉬、鉭等高熔點金屬做成一定形狀的蒸發源(電阻元件),利用大電流通過蒸發源所產生的焦耳熱,對蒸發材料進行直接加熱蒸發,或將膜料放入氧化鋁、氧化鈹等坩堝中進行間接加熱蒸發並在基體表面成膜的真空蒸鍍工藝。

基本介紹

  • 中文名:電阻加熱蒸鍍
  • 屬性:真空蒸鍍工藝

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