電容式加速度感測器是基於電容原理的極距變化型的電容感測器，其中一個電極是固定的，另一變化電極是彈性膜片。彈性膜片在外力（氣壓、液壓等）作用下發生位移，使電容量發生變化。這種感測器可以測量氣流（或液流）的振動速度（或加速度），還可以進一步測出壓力。
基本介紹
- 中文名：電容式加速度感測器
- 單位：MS9002.
- 零位校準：<10
- 零位溫度係數：<0.1±
基本信息,套用領域,技術指標,
基本信息
LCC封裝
測量範圍可定製
優異的偏差穩定性低模擬電壓輸出
高抗衝擊性能
集成溫度感測器
過電保護
套用領域
█慣性測量：航天；航空與制導
█傾斜測量：運輸；儀器儀表；鑽探
█振動測量：地震測量；數據記錄儀
技術指標
</strong>參數
單位
MS9002.
MS9010
MS9030
MS9050.
MS910D.
MS9250.
全部測量範圍
g
±2g
±10g
±30g
±50g
±100g
±250g
封裝
LCC20(,8.9mmx8.9mm/0.35inchx0.35inch)
零位校準
mg
<10
<50
<150
<250
<500
<1250
零位穩定性(﹥48H)
mgtyp.
<0.05
<0.25
<0.75
<1.25
<2.25
<6.25
開/關重複性
mgmax.
<0.15
<0.75
<1.5
<3.8
<7.5
<18.8
零位溫度係數
mg/℃typ.
<0.1±
<0.5
<1.5
<2.5
<5
<12.5
mg/℃max.
0.4
±2
±6
±10
±20
±50
比例因子(K1)
mV/g
1000±8
200±2
66.6±1
40±1
20±1
8±1
比例因子溫度係數
ppm/℃typ.
100
100
100
100
100
100
min./max.
-50/250
-50/250
-50/250
-50/250
-50/250
-50/250
輸入軸偏心度（Kp，Ko）
mradmax.
<10
<10
<10
<10
<10
<10
%max
1
1
1
1
1
1
解析度/閾值（@1Hz）
mgmax.
<0.1
<0.6
<1.7
<2.8
<5.5
<12.5
非線性度
%ofFSmax.
<0.8
<0.9
<0.9
<0.9
<1
<1
gmax.
<0.02
<0.09
<0.27
<0.50
<1
<2.5
頻寬
Hz
0～≥100
0～≥100
,
0～≥100
0～≥100
0～≥100
0～≥100
噪聲譜密度[0;9kHz]
μV/√Hztyp.
18
18
18
18
18
18
max.
24
24
24
24
24
24
諧振頻率
kHz
1.4
3.7
6.3
11
15
26
供電電壓
VDC
2.5～5.5VDC,標準的校準電壓為5.0VDC
重量
g
<1.5
尺寸
mm
標準值14.2X14.2X3.3mm，最大值14.48X14.48X3.79mm
