這通常是指利用電子的迴旋共振作用來進行測試的一種技術。
基本介紹
- 中文名:電子迴旋共振
- 外文名:Electron Spin Resonance(ESR)
這通常是指利用電子的迴旋共振作用來進行測試的一種技術。
這通常是指利用電子的迴旋共振作用來進行測試的一種技術。...... 這通常是指利用電子的迴旋共振作用來進行測試的一種技術。中文名 電子迴旋共振 外文名 Electron ...
電子迴旋共振源是一種無陰極源。它具有電離度高,形成的電漿密度高,束流強度大,性能穩定可靠等優點。這些特點不僅降低了離子源造價,而且能長期提供穩定的高品質...
微波電子迴旋共振電漿化學氣相沉積,一級套用學科:材料科學技術,二級套用學科:材料科學技術基礎。...
最引人注意的微波加熱有3種類型:離子迴旋共振加熱、低混雜波加熱、電子迴旋共振加熱;對於聚變所需的電漿密度和磁場,3種加熱類型所要求的微波頻率分別是100MHz、...
12.3微波電子迴旋共振化學氣相沉積法12.3.1原理12.3.2特點12.3.3系統12.4分子束外延法12.4.1基本概念12.4.2生長原理及方法...
注入器系統使用二種離子源,一種是普通的潘寧弧源,用以產生周期表上由碳至氙各種元素的離子,還有一種是微波電子迴旋共振源即ECR 源,它可產生各種高電荷態的離子...
研究方向:基於重離子加速器、重離子儲存環、同步輻射、ECR(電子迴旋共振)及EBIT(電子束離子井)等現代化離子源的原子結構及原子光譜、原子碰撞及相關激發和相關電離...
人們通常採用的方法有常規MOCVD(包括APMOCVD、LPMOCVD)、電漿增強MOCVD(PE—MOCVD)和電子迴旋共振輔助MBE等。所需的溫度和NH3分壓依次減少。本工作採用的設備是...
彭士香,袁忠喜,任海濤,呂鵬南,郭之虞,一種電子迴旋共振離子源,7.10,中國,ZL201110026605.4。會議報告會議報告15次,以下為2015-2016年報告列表。HB...
若射頻的頻率提高后就成為微波電漿濺射,常用的有電子迴旋共振(ECR)型微波電漿濺射。磁控濺射鍍膜靶材:金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼...
實驗表明其密度在0.1Pa量級的壓強下比ECR(電子迴旋共振)電漿的密度提高了一個數量級。另一方面,在電漿的穩定性、易操作性及自動調節等方面,螺旋波等離子...
片顯示了一個電子迴旋共振(ECR)電漿浸入離子注入系統的示意圖,這與電子迴旋共振的電漿刻蝕機很類似。在一個電漿浸入離子注入系統中,摻雜離子會轟擊到晶圓...
它由於採用了感應棚合電漿(Inductively CupledPlasma.ICP),所以與傳統的反應離子刻蝕(RIE)、電子迴旋共振(ECR)等刻蝕技術相比,具有更大的各向異性刻蝕速率比和...
該裝置具有偏濾器位形和電子迴旋共振加熱系統,運行區間從歐姆加熱模式、低約束模式和限制器下高約束模式擴展到了偏濾器運行模式、射頻加熱下的高約束模式等。該裝置的...
提供氮氣源的方法於有很多,如用電子迴旋共振 (ecr)、射頻(rf)等離子增強(pe)...gan基材料具有禁頻寬度大、熱導率高、電子飽和漂移速度大和介電常數小等特 點,...
自行設計研製了多功能UHV鍍膜系統,電子迴旋共振波電漿薄膜生長系統和脈衝電子束薄膜沉積系統。利用曲面上應力驅動自組織首次在微觀世界裡實現Fibonacci Spiral ...
1. 趙紅衛和他領導的團隊,在國際上首次提出並實驗成功ECR(電子迴旋共振)離子源三種原創磁體結構、“最小B”磁場新構形和同頻雙波導微波饋入加熱ECR電漿新方法...
這樣,電漿才能被感應、中性束、離子迴旋共振、電子迴旋共振、低雜波等方式加熱到上億度的高溫,以達到核聚變的目的。 [1] RTP托卡馬克托卡馬克裝置 編輯 ...
利用電漿外輸入的,適當頻率的各種電磁波,通過電漿內電子迴旋共振(頻率約60~120吉赫)、離子迴旋共振(頻率約30~120兆赫)、或混合共振(頻率2吉赫等)的機制...
Electron cyclotron resonance,電子迴旋共振,物理學術語。在875GS(高斯)的磁場中,電子受洛倫茲力發生迴旋運動,同時,在此區域記憶體在2.45GHZ的微波,電子的迴旋運動和微...
[6]譚必松,馬志斌,沈武林,吳振輝.非對稱磁鏡場電子迴旋共振氧電漿刻蝕化學氣相沉積金剛石膜.強雷射與粒子束,2010,22(8):1887-1890....