介紹
電子級砷烷}lcctmaic };racc tErsine AsII3又稱砷化三 氫。無色、劇毒、可燃氣體。氣體密度3.24kglnr3(2UC );液 體密度133}Jk}In尹(zm:)，1259噸爪i3(4o.s}:)。沸點 -62.50熔點一11G .9}', ,在空氣中可燃限4卜5 96 -- 64 }k} (體積)。有大蒜氣味。是一種溶血性毒物，可仗神經中毒。 微溶十水和有機溶劑，易與高錳酸鉀、溟和次氯酸鈉等溶劑起 反應，生成砷的化合物。在室溫下穩定，於23U一24UC j_開 始分解。'Tf.V0.03} 1U 6}0.2m}Im')。採用金屬砷與鋅反 應生成鋅化砷〔A:?2n3 ) . A52}n:再與硫酸反應製得粗砷烷， 經多級吸附純化可製得高純砷烷產品。砷烷用於半導體上業 中外延矽的:、型摻雜;矽中n型擴散;離子注人;生長砷化稼 (C}aA}? ,磷砷化缽[fraILsP ]以及與Ill IV族元素形成化合物 平導體二
