介紹
電子級(甲)鍺烷electronic grade gennanc C}eH}鍺烷 別名四氫化鍺，鍺甲烷。在常溫常壓下是有毒、可燃、無色氣 體，帶有特殊的刺激性臭味。沸點一SR . 5 C'氣體密度 5.35kgIm3液休密度L3bOkg}in} -,與砷烷相似。是一種溶 血物質。中毒症狀也與砷烷類似。19$3年。美國( AC.GII f )制 定的’I'I,V值為(1.2x IfI一b(0.6mg/m'}}鍺烷的化學性質與 矽烷相似，但活性比矽烷小，它不像矽烷那樣可以白燃;在水 解方面比矽烷穩定。其製法可採用四氯化鍺與金屬氫化物在 無水有機溶劑中(乙醚，四氫吠喃)反應，或採用在氫嗅酸，卜的 二氧化鍺溶液與氫化鈉或氫化鉀反應，製取含有少量、二鍺烷 和三鍺烷的粗甲鍺烷。粗產品經精餾提純可製取純度高於 99.99%的鍺烷。鍺烷在半導體工業中用於製取高純鍺，鍺外 延和摻雜。
