介紹
電子級三氟化氮electronir };radc ni"rogen }.rifluoride y r',常溫一「是無色有毒氣體。高純三氟化氮幾乎沒有氣 味，但工業用三氟化氮，山於有活性氟存在，因而有刺激性氣 味:'TLV?tJniglm3。它是一種熱力學穩定的氧化劑。沸點 一I29}.`。熔點一?us.s}:其製法是在熔融v1}.,}存在下將 氨直接氟化，反應產物經除霧，淋洗。分了篩吸附，真空蒸餾， 最後採用低溫法收集產品。三氟化氮是微電子丁業「卜一種重 要的刻蝕氣體、對矽和氮化矽的刻蝕具有更高的速率和選擇 性。還可用於高能化學雷射器。
