電子束離子源,是指用高電流密度的電子束使約束在電場位壘內的離子進一步電離從而產生高電荷態離子的裝置。
基本介紹
- 中文名:電子束離子源
- 外文名:electron-beam ion source
- 簡寫:EBIS
- 結構:電子槍、線圈、放電室、電極
- 提出時間:1967年
- 性能:獲得電荷態最高的多電荷源
電子束離子源,是指用高電流密度的電子束使約束在電場位壘內的離子進一步電離從而產生高電荷態離子的裝置。
【詞語】:電子束 【釋義】:又稱電子注。在真空匯集成束。可採用靜電場聚焦,磁場聚焦等方法。電子顯微鏡和電視機就是利用電子束形成影像的。原理 電子在電場中會受力而得到加速、提高能量,產生電子束。一台電子加速器,注入的電子能量...
電子束與離子束微細加工是指通過具有一定能量的電子束、離子束與固體表面相互作用來改變固體表面物理、化學性質和幾何結構的精密加工技術。用具有一定能量的電子束照射抗蝕劑,經顯影后在抗蝕劑中產生圖形的一種微細加工技術。介紹 通過...
電子轟擊離子源是採用高速(高能)電子束衝擊樣品,從而產生電子和分子離子M+,M+繼續受到電子轟擊而引起化學鍵的斷裂或分子重排,瞬間產生多種離子。簡介 離子源是質譜儀器的“心臟 。按電離方式分成電子轟擊源、化學電離源、場致電離源...
高頻離子源則是由氣體中的高頻放電來產生離子的,也有廣泛的用途。新型重離子源的出現,使重離子的電荷態顯著提高,其中較成熟的有電子迴旋共振離子源(ECR)和電子束離子源(EBIS)。負離子源性能較好的有轉荷型和濺射型兩種。在一定條件...
離子束加工的原理和電子束加工基本類似,也是在真空條件下,將離子源產生的離子束經過加速聚焦,使之撞擊到工件表面。離子束的加工裝置主要由包括離子源、真空系統、控制系統和電源等。簡介 離子束加工(mM)利用具有較高能量的離子束射到...
濺射型負離子源是指用正離子束去轟擊工作物質,就能得到該種物質的負離子。若用銫離子束去濺射周期表第Ⅳ族以後電子親合力較大的元素,可以得到該元素微安級的負離子束流。若使氫或氬離子束通過一個充有氣態工作物質的孔道,就能得到...
本項目提出全新的製備超冷亞穩態Li離子方法,將採用雷射冷卻技術,用磁光阱獲得超冷Li中性原子,利用電子束轟擊產生超冷亞穩態Li離子源,可望克服傳統亞穩態Li離子束的不足。通過該課題的開展,我們將首次獲得一種全新的超冷亞穩態Li...
一、電子束技術 二、光子束技術 三、離子束技術 第二節 聚焦離子束技術 一、常規離子束加工與聚焦離子束加工 二、聚焦離子束技術的發展歷史 三、聚焦離子束系統的分類 第三節 聚焦離子束系統組成 一、離子源 二、離子光學柱 三、束...
在新型的聚焦離子束顯微鏡,已出現的雙束(Dual Beam)的機型(離子束+電子束),在以離子束切割時,用電子束觀察影像,除了可避免離子束繼續 "破壞現場" 外,尚可有效的提高影像解析度,同時也可配備X-光能譜分析儀或二次離子質譜儀...
1、 Pt,W,C,SiO₂,XeF₂氣體注入系統:可在離子束、電子束誘導下進行可控沉積及增強或選擇性刻蝕;Multi-gas injection system (GIS) for Pt, W, C,SiO₂,XeF₂: Controllable deposition and enhancing or selective etching...
趙紅衛主要從事電漿離子源、電子冷卻、迴旋和直線加速器研究。人物經歷 1966年1月,趙紅衛出生於甘肅省慶陽市寧縣。1984年9月—1988年7月,就讀於成都科技大學(現四川大學)套用物理系,畢業並獲得學士學位。1988年9月—1992年11月,...
電子束熱蒸發鍍膜機是一種用於物理學、材料科學、機械工程領域的計量儀器,於2015年1月27日啟用。技術指標 腔體尺寸:600mm(直徑)×700mm(高);前級乾泵加低溫泵真空系統,30分鐘以內抽進10-4Pa,極限真空小於5x10-5Pa;樣品托盤6寸...
懸浮區域電子轟擊法,由它分離的懸浮區域電子轟擊組合離子源。其特徵是將待分析的樣品溶解在底物中,不必加熱樣品,由能量約70EV電子束直接轟擊底物,便可獲得類似氣相中電子轟擊的質譜圖.由於分析過程中不必加熱離子源和樣品,因而減少了本底...
這些離子是離子一分子締合的產物。特別是在分子具有永久偶極情況下,起始的離子一分子締合物能夠進一步與分子締合而生成較大的締合物。舉例 例一,Kebarle用脈衝電子束高壓力離子源質譜儀觀察了下列反應:例二,鈉離子與水反應如下:上述...