基本介紹
- 中文名：電子探針顯微分析儀
- 外文名：electron-probemicroanalyzer
- 又稱：電子探針
- 原理：高能電子與固體物質相互作用
- 測量：各種元素的X-射線的波長和強度
- 對象：高分子材料
電子探針顯微分析儀的結構,電子探針顯微分析儀的分類,電子探針顯微分析儀主要部件,電子探針顯微分析儀的功能,
電子探針顯微分析儀的結構
電子探針顯微分析是利用聚焦電子束(電子探測針)照射試樣表面待測的微小區域，從而激發試樣中元素產生不同波長(或能量)的特徵X射線。用X射線譜儀探測這些X射線，得到X射線譜。根據特徵X射線的波長(或能量)進行元素定性分析；根據特徵X射線的強度進行元素的定量分析。電子探針儀由電子光學系統和x射線譜儀系統的組成。通常電子探針可以配合掃描電鏡一起使用，因此其結構可以認為是SEM與X射線譜儀的組合。
電子探針顯微分析儀的分類
常見的X射線譜儀主要有兩種，一種是利用特徵x射線的波長不同來展譜，實現對不同波長X射線分別檢測的波長色散譜儀，簡稱波譜儀，另一種是利用特徵x射線的能量不同來展譜，實現對不同能量x射線分別檢測的能量色散譜儀，簡稱能譜儀。
電子探針顯微分析儀主要部件
(1)高壓電纜。
(3)陽極。
(4)合軸線圈。
(5)聚光鏡(聚透鏡)有二級。
(6)物鏡光陽。
(7)光學顯微鏡與電子光路同軸，並裝有起偏鏡和檢偏鏡可進行偏光觀察。
(8)二級偏轉線圈。功能同掃描電鏡。
電子探針顯微分析儀的功能
1、 各種電子圖象的觀察
現代電子探針X射線顯微分析儀各種電子圖象觀察的功能大大提高，凡掃描電鏡中可觀察的圖象，電子探針儀也能觀察。但電子探針設計時主要照顧到對微區進行成分分析，所以形貌圖象觀察的功能不如掃描電鏡的強。圖象解析度，清晰度都要比掃描電鏡差一些。但元素成分分析功能要比掃描電鏡強。在選用時應注意到這些差別。
2、 元素的定性分析
如果要想知道試樣中某一微區或表面層是由哪些元素組成的，那么就可以角電子探針進行定性分析。
3、 元素的定量分析
