電子工業用氣體:氫

《電子工業用氣體:氫(GB/T 16942-2009)》代替GB/T 16942—1997《電子工業用氣體 氫》。本標準的附錄A為規範性附錄。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。本標準起草單位:中國計量科學研究院西南化工研究設計院。本標準主要起草人:周澤義、周鵬雲。本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:—GB/T 16942—1997。

基本介紹

  • 中文名:電子工業用氣體:氫 
  • 作者:中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會
  • 出版社:中國標準出版社
  • 出版時間:2009年12月1日
  • 頁數:6 頁
  • 開本:16 開
  • ISBN:155066139319
  • 外文名:Gas for Electronic Industry-Hydrogen
  • 語種:簡體中文
內容簡介
《電子工業用氣體:氫(GB/T 16942-2009)》由中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局,中國國家標準化管理委員會發布。

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