《電子工業用氣體 氬》代替GB/T 16945—1997《電子工業用氣體氬》。《電子工業用氣體 氬》由全國半導體材料和設備標準化技術委員會提出。《電子工業用氣體 氬》由全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會歸口。《電子工業用氣體 氬》起草單位:北京氦普北分氣體工業有限公司、西南化工研究設計院。 《電子工業用氣體 氬》主要起草人:趙俊秀、周鵬雲。 《電子工業用氣體 氬》所代替標準的歷次版本發布情況為: ——GB/T 16945—1997。
基本介紹
- 書名:電子工業用氣體 氬
- 出版社:中國標準出版社
- 頁數:2頁
- 開本:16
- 定價:14.00
- 作者:中國標準出版社
- 出版日期:2009年12月1日
- 語種:簡體中文
- ISBN:GB/T16945-2009