基本介紹
- 書名:電子工業用氣體 三氟化氮
- 作者:中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
- 出版日期:2008年3月1日
- 語種:簡體中文
- ISBN:155066130978
- 外文名:Gases for Electronic Industry-Nitrogen Trifluoride
- 出版社:中國標準出版社
- 頁數:12頁
- 開本:16
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《電子工業用氣體 三氟化氮(GB/T 21287-2007)》由中國標準出版社出版。
圖書目錄
前言
1範圍
2規範性引用檔案
3要求
4試驗方法
5包裝、標誌、貯運及安全
附錄A(資料性附錄) 切割氣路流程示意圖
附錄B(資料性附錄) 測定三氟化氮中一氧化碳的氣路切換裝置流程示意圖
附錄C(規範性附錄) 可水解氟化物和總酸度的測定
附錄D(資料性附錄) 三氟化氮的化學性質和物理參數
1範圍
2規範性引用檔案
3要求
4試驗方法
5包裝、標誌、貯運及安全
附錄A(資料性附錄) 切割氣路流程示意圖
附錄B(資料性附錄) 測定三氟化氮中一氧化碳的氣路切換裝置流程示意圖
附錄C(規範性附錄) 可水解氟化物和總酸度的測定
附錄D(資料性附錄) 三氟化氮的化學性質和物理參數