電子工業用四氯化矽

《電子工業用四氯化矽》（GB/T 38867-2020）是2021年2月1日實施的一項中華人民共和國國家標準，歸口於全國半導體設備和材料標準化技術委員會。

《電子工業用四氯化矽》（GB/T 38867-2020）規定了電子工業用四氯化矽的技術要求、檢驗規則、試驗方法、標誌、包裝、運輸、儲存及安全的要求。該標準適用於工業四氯化矽精製提純後的電子工業用四氯化矽。

基本介紹

• 中文名：電子工業用四氯化矽
• 外文名：Silicon tetrachloride for electronic industry
• 標準號：GB/T 38867-2020
• 中國標準分類號：G86
• 標準類別：產品
• 國際標準分類號：71.100.20
• 發布日期：2020-07-21
• 實施日期：2021-02-01
• 歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
• 執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
• 主管部門：中華人民共和國國家標準化管理委員會
• 性質：推薦性國家標準
• 狀態：現行

制定過程

編制進程

• 標準計畫

2018年12月29日，國家標準計畫《電子工業用四氯化矽》（20184310-T-469）下達，項目周期12個月，由TC203（全國半導體設備和材料標準化技術委員會）提出並歸口上報，TC203SC1（全國半導體設備和材料標準化技術委員會化學品分會）執行，主管部門為中華人民共和國國家標準化管理委員會。

• 標準起草

起草小組聯合湖北省標準化與質量研究院、西南化工研究設計院有限公司、隨州市信息與標準化所等科研單位和企業，對國際、中國國內產品生產情況進行了深入調研和分析，將中國以外產品的企業標準和中國國內實際生產情況相結合編制標準草擬稿，先後於昆明、上海、武漢多次召開標準討論會，廣泛徵求意見並反覆開展驗證試驗，最終通過全國半導體設備和材料標準化技術委員氣體分會的標準審查。

• 發布實施

2020年7月21日，國家標準《電子工業用四氯化矽》（GB/T 38867-2020）由中華人民共和國國家市場監督管理總局、中華人民共和國國家標準化管理委員會發布。

2021年2月1日，國家標準《電子工業用四氯化矽》（GB/T 38867-2020）實施。

制定依據

國家標準《電子工業用四氯化矽》（GB/T 38867-2020）依據中國國家標準《標準化工作導則—第1部分：標準的結構和編寫規則》（GB/T 1.1-2009）規則起草。

起草工作

主要起草單位：湖北晶星科技股份有限公司、湖北省標準化與質量研究院、洛陽中矽高科技有限公司、唐山三孚電子材料有限公司、湖北光谷標準創新科技有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、浙江西亞特電子材料有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、大連大特氣體有限公司、上海市計量測試技術研究院、聯雄投資（上海）有限公司、隨州市信息與標準化所、達州市質量技術監督檢驗測試中心、西南化工研究設計院有限公司。

主要起草人：徐德、張國光、黃娣、劉暢、楊劍、趙雄、楚東旭、王春英、戴帥、張競、黃國菲、廖恆易、陳艷珊、楊利、於青玉、方華、曹作斌、曲慶、陳鷹、李春華、黃輝、譚鵬程、鄧遠方、周鵬雲、徐龍、趙帥德、唐霞梅。

標準目次

前言	Ⅰ
1範圍	1
2規範性引用檔案	1
3技術要求	1
4檢驗規則	2
5試驗方法	2
6標誌、包裝、運輸、儲存和安全警示	7
附錄A（資料性附錄）取樣方法	8
附錄B（規範性附錄）安全警示	10
參考文獻	12