《電子工業用二氯矽烷》（GB/T 38866-2020）是2021年2月1日實施的一項中華人民共和國國家標準，歸口於全國半導體設備和材料標準化技術委員會。
《電子工業用二氯矽烷》（GB/T 38866-2020）規定了電子工業用二氯矽烷的技術要求、檢驗規則、試驗方法、標誌、包裝、運輸、儲存及安全的要求。《電子工業用二氯矽烷》（GB/T 38866-2020）適用於歧化法製備的二氯矽烷。
基本介紹
- 中文名：電子工業用二氯矽烷
- 外文名：Dichlorosilane for electronic industry
- 標準號：GB/T 38866-2020
- 中國標準分類號：G86
- 標準類別：產品
- 國際標準分類號：71.100.20
- 發布日期：2020-07-21
- 實施日期：2021-02-01
- 歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
- 執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
- 主管部門：中華人民共和國國家標準化管理委員會
- 狀態：現行
- 性質：推薦性國家標準
制定過程,制定背景,編制進程,制定依據,起草工作,標準目次,內容範圍,引用檔案,意義價值,
制定過程
制定背景
高純二氯矽烷主要用於電子半導體、積體電路工業中矽外延及積體電路上氮化矽掩蔽膜和多晶矽膜等含矽薄膜的製備，是一種性能極佳的外延澱積材料;高純四氯化矽是光纖、光電感測器生產的主原料，也用於積體電路的刻蝕工藝以及存儲器的薄膜工藝。中國從2015年已經打破技術壁壘，實現了這兩種產品的的產業化生產，產品純度可以達到99.99%以上。
但由於受標準缺乏等因素的制約，中國國內產能較小，主要依賴進口，無法滿足積體電路產業市場龐大的需求。為了適應先進半導體材料的迅速發展，提高中國自主生產電子工業用氣體的能力，湖北晶星科技股份有限公司2016年向國家標準化管理委員會提出申請並立項。
編制進程
- 標準計畫
2018年12月29日，國家標準計畫《電子工業用二氯矽烷》（20184306-T-469）下達，項目周期12個月，由TC203（全國半導體設備和材料標準化技術委員會）提出並歸口上報，TC203SC1（全國半導體設備和材料標準化技術委員會化學品分會）執行，主管部門為中華人民共和國國家標準化管理委員會。
- 標準起草
起草小組聯合湖北省標準化與質量研究院、西南化工研究設計院有限公司、隨州市信息與標準化所等科研單位和企業，對國際、中國國內產品生產情況進行了深入調研和分析，將中國以外產品的企業標準和中國國內實際生產情況相結合編制標準草擬稿，先後於昆明、上海、武漢多次召開標準討論會，廣泛徵求意見並反覆開展驗證試驗，最終通過全國半導體設備和材料標準化技術委員氣體分會的標準審查。
- 發布實施
2020年7月21日，國家標準《電子工業用二氯矽烷》（GB/T 38866-2020）由中華人民共和國國家市場監督管理總局、中華人民共和國國家標準化管理委員會發布。
2021年2月1日，國家標準《電子工業用二氯矽烷》（GB/T 38866-2020）實施。
制定依據
國家標準《電子工業用二氯矽烷》（GB/T 38866-2020）依據中國國家標準《標準化工作導則—第1部分：標準的結構和編寫規則》（GB/T 1.1-2009）規則起草。
起草工作
主要起草單位：湖北晶星科技股份有限公司、湖北省標準化與質量研究院、洛陽中矽高科技有限公司、唐山三孚電子材料有限公司、湖北光谷標準創新科技有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、浙江西亞特電子材料有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、大連大特氣體有限公司、上海市計量測試技術研究院、聯雄投資（上海）有限公司、隨州市信息與標準化所、達州市質量技術監督檢驗測試中心、西南化工研究設計院有限公司。
主要起草人：豐雷、葉家愛、龔瑞、楊劍、劉暢、萬燁、張園園、王春英、戴帥、謝秋琪、袁樂、傅鑄紅、禹金龍、楊利、於青玉、方華、曹作斌、曲慶、陳鷹、李春華、黃輝、譚鵬程、鄧遠方、周鵬雲、李威、方艾黎、譚依玲。
標準目次
前言 | Ⅰ |
|---|---|
1範圍 | 1 |
2規範性引用檔案 | 1 |
3技術要求 | 1 |
4檢驗規則 | 2 |
5試驗方法 | 3 |
6標誌、包裝、運輸、儲存和安全警示 | 6 |
附錄A（資料性附錄）取樣方法 | 7 |
附錄B（規範性附錄）安全警示 | 9 |
參考文獻 | 11 |
參考資料：
內容範圍
《電子工業用二氯矽烷》（GB/T 38866-2020）規定了電子工業用二氯矽烷的技術要求、檢驗規則、試驗方法、標誌、包裝、運輸、儲存及安全的要求。《電子工業用二氯矽烷》（GB/T 38866-2020）適用於歧化法製備的二氯矽烷。
引用檔案
GB 190 危險貨物包裝標誌 GB/T 602 化學試劑—雜質測定用標準溶液的製備 GB/T 3723 工業用化學產品採樣安全通則 GB/T 4842 氬 GB/T 5099 鋼質無縫氣瓶 GB/T 7144 氣瓶顏色標誌 GB/T 8984 氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定—氣相色譜法 GB/T 11446.1-2013 電子級水 GB/T 14193 液化氣體氣瓶充裝規定 GB 15258 化學品安全標籤編寫規定 | GB/T 16804 氣瓶警示標籤 GB/T 28726 氣體分析—氦離子化氣相色譜法 GB/T 32566 不鏽鋼焊接氣瓶 GB/T 34972 電子工業用氣體中金屬含量的測定—電感耦合電漿質譜法 TSG R0006 氣瓶安全技術監察規程 危險化學品安全管理條例（2002年1月26日中華人民共和國國務院令第344號公布，2011年2月16日國務院第144次常務會議修訂通過） 特種設備安全監察條例（2009版，中華人民共和國國務院令第549號） |
參考資料：
意義價值
《電子工業用二氯矽烷》（GB/T 38866-2020）的發布實施，填補了中國兩類電子工業用氣體的標準空白，將為提高中國自主生產電子工業用氣體的能力，促進先進半導體材料製造業的迅速發展，提供技術依據和可靠保障，對有效提高企業標準話語權和知名度、提升企業核心競爭力也具有十分重要的意義。
