產品特點,調阻精度高,調阻速度快,可靠性高,功能強大,成本低廉,技術參數,雷射器系統,定位系統,圖像監視系統,測量系統,計算機及軟體,分步重複運動,溫度測量,其它技術指標,套用市場,
產品特點
調阻精度高
l 先進的雷射器提供了TEM00高光束質量和極細線寬的雷射束
l 四線制高速測量系統，測量時間僅為25us
l 擁有軟體預調誤差補償功能
調阻速度快
l 先進的雷射器擁有極高的重複頻率，在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度
l 德國進口掃描振鏡，掃描速度極快
l 高精度分步重複機構，空氣軸承，移動速度及加速度快
可靠性高
l 整機配置核心器件均採用原裝進口配置
l 採用花崗岩台座，穩定可靠
功能強大
l 擁有溫度實時補償功能
l 同時具有雷射劃片和打標功能
成本低廉
l 採用半導體端面泵浦或光纖雷射器
l 使用壽命長，性能穩定
l 電光轉換效率高，節約用電成本
l 採用風冷系統，無須外置冷卻設備
l 操作簡單，無須高額培訓成本
技術參數
雷射器系統
l 雷射類型：半導體端面泵浦雷射器 / 光纖雷射器
l 雷射波長：1064/532/355nm
l 雷射平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)
l 雷射頻率：200Hz-50KHz
l 典型光斑尺寸：30µm
實際切口取決於材料、光學器件和波長；可根據需要選配532綠雷射或355紫外雷射最小光斑達12µm
l 泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時
l 冷卻方式：風冷
l 對焦方式：電腦程式控制
定位系統
l 雷射束運動範圍：75mmX75mm（可選配其他規格）
l 點到點運動時間：5ms（典型）
l 最大速度：7000mm/s
l 重複定位精度：2.5µm
l 雷射束最小步進：0.76µm
圖像監視系統
l 監視方式：雷射同軸監視
l 最大放大倍數：>100倍
l 圖像監視顯示屏：19寸液晶
測量系統
l 激勵方式：電流/電壓激勵
l 恆流源：0.01µA~100mA計算機程控選擇
l 恆壓源：0~20V計算機程控選擇（可選其它電壓範圍）
l 電阻測量方式：四線制加電流測電壓
l 直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
l 調節對象發熱控制：程式可設定
l 電阻測量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）
l 電阻測量範圍：0.01Ω-500MΩ
l 電阻測量速度：25µs
l 直流電壓解析度：0.16µV（在10mV滿量程條件下）
l 探針板：44針11組四線制（可選其它規格）
l 探針板運動：電腦程式控制
計算機及軟體
l 工業控制計算機（雙核），17寸液晶
l 作業系統：Windows XP
l VB平台開發的可視化套用軟體，界面友好，功能強大
分步重複運動
l 運動XY範圍：290x260mm
l 運動解析度：1µm
l 定位精度：小於6µm（帶誤差補償）
l 重複定位精度：小於3µm
l 最大運動速度：900mm/s
l 具有溫度補償等功能
溫度測量
l 溫度測量精度：0.2℃
l 調阻溫度修正：電腦程式控制
其它技術指標
l 供電電壓：220V AC
l 整機功耗：小於1000W
套用市場
主要套用於厚膜、薄膜電路的精密調節。廣泛套用於
l 厚膜混合積體電路
l 電子元器件
l 汽車電器
l 感測器
l 軍工科研
l 片式電阻等行業
