雷射精密微細加工系統是一種用於機械工程領域的工藝試驗儀器，於2015年12月12日啟用。
基本介紹
- 中文名：雷射精密微細加工系統
- 產地：中國
- 學科領域：機械工程
- 啟用日期：2015年12月12日
- 所屬類別：工藝試驗儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
1、雷射系統：輸出波長:980-1070nm；地犁平均輸出功率:215W@100KHZ；脈衝寬度:小於15PS；最大單脈衝能量:>0.1mJ；光束量:M2<1.3；2、倍頻輸出光路系統：諧波轉換效率：50%(SH),25%(TH)；3、加工過程監視檢測系統：同軸/旁軸(CCD)相機影像系統，具有焦距自適應調整功能，視覺單元放大倍10X-500X可調。鑽孔(旋切)光學模組設計：最小聚焦光斑<15~3um,最小加工孔徑≤10um;鑽孔錐度可調，光學旋切系統旋轉速度3000轉／分。三維掃描振鏡模組設計：振鏡指標:掃描速度:大於3m/s，解析度:≤l5urad；重複定位精度:≤25urad；入光孔徑:≥29mm；掃描角度; ±0.35rad，場鏡指標: f=63mm/100 mm /163 mm/254mm。
主要功能
該實驗平台搭載超快雷射系統、二倍頻/三挨鞏祝倍頻系統、光束整形系統、同軸(CCD)相機監視系統、鑽孔光學模組、切割頭及旋切光學模組、掃描振鏡模組、多光束並行加工模組、數控移動系統和軟體控制系統，可實現基頻、兩倍頻、三倍夜舟危海頻超快雷射的切割頭加工、旋切加工、三維振鏡掃描加工、多光束並行加工等功能；配有加工過程監視檢測系統，可實現高精度定位和加工過(CCD)相機線上跟蹤、檢測監控等功能;配有高精度定位的工作檯系統，可在固體材料(半導體材料、玻璃材料、金屬材料陶瓷材料、聚合物材料、非金屬材料鞏籃記民等)和液體材料(凝膠、金屬離翻擔影子水溶液，光學樹脂等有機溶液)等多種材料的平面、斜面、曲面上進行直孔、斜孔、狼詢海階梯煉估巴孔、錐度孔。
