雷射直刻微細加工系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2017年12月19日啟用。
基本介紹
- 中文名：雷射直刻微細加工系統
- 產地：中國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2017年12月19日
- 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備
技術指標,主要功能,
技術指標
雷射器：二極體泵浦固體紫外雷射器 ，波長355nm，到台面功率＜6W；加工幅面：≥220*300mm；雷射光斑直徑：15um；加工材料：PI、LCP等有機材料，氧化鋁/氮化鋁等陶瓷材料，矽片等；微溝道深寬比：≥6:1；最小溝道寬度：20um；單個掃描區域內精度：2um；定位方式：CCD定位；軟體：可控制雷射脈衝個數；控制每一個雷射脈衝的能量、重複次數；控制雷射加工方式，如同心圓型、螺旋型等；可加工多階盲槽。
主要功能
雷射直寫電路，剛性和柔性材料鑽孔切割，成型TCO/ITO，LTCC切割鑽孔。
