雷射橢偏儀,通常雷射光源的功率和波長可選。在測量過程中,需要以獲得橢偏數據,並對橢偏數據模擬分析從而得到測量結果,如薄膜厚度、光學常數以及材料微結構測量等。
基本介紹
- 中文名:雷射橢偏儀
- 是指採用:單一波長的雷射作為測量光源
- 做:變角度測量
- 可以測量:單晶電池片、多晶電池片
套用,優點和缺點,
套用
■晶矽太陽能電池絨面上的減反膜測量。
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■可以測量拋光片,精確度和準確度極高■可以測量粗糙表面的“絨片”
■適用於對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強進行測量
■可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(偏振因數)進行測量和評估,提高測量精度
優點和缺點
■ 優點:相對於光譜型橢偏儀,雷射單波長橢偏儀比較簡單,由於不需要單色儀,四分之一玻片也可以根據波長固定,光學元件也可以針對特定波長進行設計,所以價格相對便宜,同時測量精度較高。
■缺點:對多層膜分析能力不足,不如光譜型橢偏儀。