雷射掃描顯微鏡

雷射掃描顯微鏡

雷射掃描顯微鏡是一種用於材料科學領域的物理性能測試儀器,於2014年11月25日啟用。

基本介紹

  • 中文名:雷射掃描顯微鏡
  • 產地:日本
  • 學科領域:材料科學
  • 啟用日期:2014年11月25日
  • 所屬類別:物理性能測試儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

1、測試功能:PROFIEL 形貌測量(精度)、線粗糙度和面粗糙度測量、磨耗對比測量等。Z向測量顯示解析度0.5nm;重複精度:0.012um;X向測量顯示解析度1nm,重複精度:0.02um;測量高度範圍:0—7mm 2、掃描速度:面掃描:4-120Hz,線掃描:7900Hz 3、圖像解析度:130nm。

主要功能

主要用於樣品形貌特性的觀察與測量。

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