雷射掃描干涉儀是一種用於物理學領域的物理性能測試儀器，於2000年01月09日啟用。
基本介紹
- 中文名：雷射掃描干涉儀
- 產地：美國
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2000年01月09日
- 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
口徑100mm，檢測精度0.1λ。
主要功能
檢測平面、球面光學元件面形。
雷射掃描干涉儀
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